在线质谱气体分析系统 Online Mass Spectrometer Gas Analyzer

主要参数 / Main Parameters:

◆ 四质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）；
◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu；
◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换；
◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）；
◆ 扫描速度：高可达1.8毫/amu，扫描步阶0.1amu；
◆ 小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间）
◆ 气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，低可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端）
◆ 响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1；（无需大流量采样来提高响应速度）
◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。
◆ 软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。
◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，限真空1*10E-12mbar；
◆ 干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，限真空1*10E-1mbar；
◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃；
◆ 进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制；
◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。
◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。